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氏名
新海 聡子 (シンカイ サトコ)
SHINKAI Satoko
所属専攻講座
マイクロ化総合技術センター
職名
准教授
研究室住所
(日)福岡県飯塚市川津680-4
(英)680-4 Kawazu Iizuka,Fukuoka,820-8502 Japan
研究室電話
(日)0948-29-7582
(英)+81-948-29-7582
研究室FAX
(日)0948-29-7582
(英)+81-948-29-7582
メールアドレス
メールアドレス
研究分野・キーワード
(日)LSI配線, 拡散バリア, シリサイド, コンタクト抵抗, 表面形態, 薄膜結晶成長技術, 結晶配向性, エピタキシャル成長, 電子材料物性, 真空技術, 化合物半導体
(英)LSI Meatllization, Diffusion Barrier, Silicide, Contact Resistance, Surface Morphology, Crystal Thin Film Growth Technique, Crystal Orientation, Epitaxial Growth, Vacuum Technology, Compound Semiconductor
出身大学
  • 北見工業大学  工学部  機能材料工学科

    大学 、 1996年03月 、 飛び級 、 日本国

出身大学院
  • 北見工業大学  工学研究科  化学環境工学専攻

    修士課程 、 1998年03月 、 修了 、 日本国

  • 北見工業大学  工学研究科  物質工学専攻

    博士課程 、 2000年03月 、 修了 、 日本国

取得学位
  • 博士(工学) (Doctor of Engineering) 、 電子・電気材料工学 (Electron/electric material engineering) 、 北見工業大学 (Kitami Institute of Technology) 、 課程 、 2000年03月

学内職務経歴
  • 九州工業大学 マイクロ化総合技術センター 、 准教授 、 2010年04月 ~ 継続中

    Center for Microelectronic Systems, Kyushu Institute of Technology, Associate Professor, 2010.04 -

学外略歴
  • 詫間電波高専 電子制御工学科 、 助手 、 2005年01月 ~ 2007年03月

    Takuma National College of Technology Department of Control Engineering , Research Associate , 2005.01 - 2007.03

  • 北見工業大学 、 日本学術振興会特別研究員 、 2001年04月 ~ 2004年03月

    Kitami institute of technology , Postdoctoral Fellowships of Japan Society for the Promotion of Science , 2001.04 - 2004.03

  • 北見工業大学 、 日本学術振興会特別研究員 、 2000年04月 ~ 2001年03月

    Kitami institute of technology , Postdoctoral Fellowships of Japan Society for the Promotion of Science , 2000.04 - 2001.03

  • 北見工業大学 、 日本学術振興会特別研究員 、 1998年04月 ~ 2000年03月

    Kitami institute of technology , Postdoctoral Fellowships of Japan Society for the Promotion of Science , 1998.04 - 2000.03

所属学会・委員会
  • 応用物理学会 、 1996年04月 ~ 継続中 、 日本国

  • 電子情報通信学会 、 1996年04月 ~ 継続中 、 日本国

  • 電気学会 、 2007年09月 ~ 継続中 、 日本国

  • 日本真空学会 、 2002年04月 ~ 継続中 、 日本国

    The Vacuum Society of Japan , 2002.04 - , JAPAN

  • 日本表面科学会 、 2002年04月 ~ 継続中 、 日本国

    The Surface Science Society of Japan , 2002.04 - , JAPAN

専門分野(科研費分類)
  • 電子・電気材料工学 (Electron/electric material engineering)

論文(2006.4~)
  • 英語 、 Improvement of device isolation using field implantation for GaN MOSFETs 、 Semiconductor Science and Technology 、 31巻 3号 、 2016年02月 、 Jiang Y., Jiang Y., Wang Q., Wang Q., Zhang F., Li L., Shinkai S., Wang D., Ao J.

    DOI:10.1088/0268-1242/31/3/035019、 学術雑誌 、 共著

  • 英語 、 Field isolation for GaN MOSFETs on AlGaN/GaN heterostructure with boron ion implantation(共著) 、 SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY 、 29巻 5号 (頁 ~ 055002) 、 2014年05月 、 Jiang Y, Wang QP, Tamai K, Li LA, Shinkai S, Miyashita T, Motoyama SI, Wang DJ, Ao JP, Ohno Y

    DOI:10.1088/0268-1242/29/5/055002、 学術雑誌 、 共著

  • 英語 、 Dielectric Properties of Zr–Al Anodized Thin Film Capacitors Prepared Using Al-Doped Zr Alloy Films 、 Japanese Journal of Applied Physics 、 49巻 (頁 101501 ~ ) 、 2010年10月 、 Hidefumi Kimizaki, Satoko Shinkai, Katsutaka Sasaki, Hideto Yanagisawa, Misao Yamane, and Yoshio Abe

    学術雑誌 、 共著

  • 英語 、 Dielectric properties of Zr-Al anodized thin film capacitors prepared using Al-doped Zr alloy films 、 Japanese Journal of Applied Physics 、 49巻 10号 (頁 1015011 ~ 1015015) 、 2010年10月 、 Kimizaki H., Shinkai S., Sasaki K., Yanagisawa H., Yamane M., Abe Y.

    DOI:10.1143/JJAP.49.101501、 学術雑誌 、 共著

  • 英語 、 Schottky contacts of refractory metal nitrides on gallium nitride using reactive sputtering 、 Vacuum 、 84巻 (頁 1439 ~ 1443) 、 2010年04月 、 Jin-Ping Ao, Suzuki Asato, Sawada Kouichi, Shinkai Satoko, Yoshiki Naoi and Yasuo Ohno

    DOI:10.1016/j.vacuum.2009.12.006、 学術雑誌 、 共著

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研究発表(2006.4~)
  • 応用物理学会 2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会 、 その他の会議 (査読無し) 、 2009年04月 、 同時スパッタで作製したNb-Hf合金膜による陽極酸化膜キャパシタの損失特性 、 口頭(一般)

  • 2008年秋季 第69回応用物理学会学術講演会 、 その他の会議 (査読無し) 、 2008年09月 、 Hfを添加したNb合金による陽極酸化膜キャパシタの損失特性 、 口頭(一般)

  • 2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会 、 その他の会議 (査読無し) 、 2007年09月 、 日本 、 TiNゲートAlGaN/GaN HFETの特性評価 、 口頭(一般)

  • 2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会 、 その他の会議 (査読無し) 、 2007年09月 、 日本 、 n-GaNへの高温処理ZrN電極ショットキー特性 、 口頭(一般)

  • 未入力 、 その他の会議 (査読無し) 、 2007年03月 、 日本 、 Zr-Al 陽極酸化膜から作製した薄膜キャパシタのキャパシタ特性と漏れ電流機構 、 口頭(一般)

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担当授業科目
  • 2016年度 、 半導体工学 、 2016年10月 ~ 2017年03月 、 専任

  • 2016年度 、 半導体真空技術特論 、 2016年04月 ~ 2016年09月 、 専任

  • 2016年度 、 集積回路製作演習 、 2016年04月 ~ 2016年09月 、 専任

  • 2015年度 、 半導体工学 、 2015年10月 ~ 2016年03月 、 専任

  • 2015年度 、 半導体真空技術特論 、 2015年04月 ~ 2015年09月 、 専任

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学外の社会活動(高大・地域連携等)
  • MOSトランジスタ試作実習 、 2011年09月

  • IKKAN 、 2011年08月

  • pn接合試作実習(学外) 、 2011年08月

  • pn接合試作実習(学外) 、 2011年03月

  • Kyutech & NTUST students internship training 、 2011年03月

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科研費(文科省・学振)獲得実績
  • 若手研究(B) 、 2007年04月 ~ 2009年03月 、 タンタル拡散バリアの有用性探索

    研究課題番号:19760015

2017/09/01 更新