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氏名
馬場 昭好 (ババ アキヨシ)
BABA Akiyoshi
所属専攻講座
マイクロ化総合技術センター
職名
准教授
研究分野・キーワード
(日)半導体微細加工,MEMS,インクジェット,センサーエレメント、太陽電池、パワーデバイス
(英)Microfabrication, Micro Electrical Mechanical System, Inkjet, Sensor Element, Solar Cell, Power Device
取得学位
  • 博士(工学) (Doctor of Engineering) 、 電子デバイス・電子機器 (Electronic device/electronic equipment) 、 九州大学 (Kyushu University) 、 課程 、 1997年09月

学内職務経歴
  • 九州工業大学 マイクロ化総合技術センター 、 准教授 、 2007年04月 ~ 継続中

    Center for Microelectronic Systems, Kyushu Institute of Technology, Associate Professor, 2007.04 -

所属学会・委員会
  • 第33回センサーシンポジウム 、 2015年08月 ~ 2016年11月 、 日本国

専門分野(科研費分類)
  • 電子デバイス・電子機器 (Electronic device/electronic equipment)

  • マイクロ・ナノデバイス (Micro/nanodevice)

論文(2006.4~)
  • 英語 、 Silicon trench photodiodes on a wafer for efficient X-ray-to-current signal conversion using side-X-ray-irradiation mode 、 Japanese Journal of Applied Physics 、 57巻 4号 、 2018年04月 、 Ariyoshi T., Takane Y., Iwasa J., Sakamoto K., Baba A., Arima Y.

    DOI:10.7567/JJAP.57.04FH04、 学術雑誌 、 共著

  • 英語 、 Fabrication of Silicon on Diamond Structure with an Ultra-Thin SiO2 Bonding Layer by Sputter Etching Method 、 Digest of 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2017) 、 2017年11月 、 Masahiro Nagata, Ryouya Shirahama, Sethavut Duangchan, Akiyoshi Baba

    国際会議proceedings 、 共著

  • 英語 、 Estimation of the Conversion Properties of Trench-Structured Silicon X-ray Photodiodes by the Side X-ray Irradiation Method 、 Abstracts of the 2016 International Conference on Solid State Devices and Materials (頁 321 ~ 322) 、 2017年09月 、 Tetsuya Ariyoshi, Yuta Takane, Jumpei Iwasa, Kenji Sakamoto, Akiyoshi Baba, Yutaka Arima

    国際会議proceedings 、 共著

  • 英語 、 X-ray-to-current signal conversion characteristics of trench-structured photodiodes for direct-conversion-type silicon X-ray sensor 、 Japanese Journal of Applied Physics 、 56巻 4号 、 2017年04月 、 Ariyoshi T., Funaki S., Sakamoto K., Baba A., Arima Y.

    DOI:10.7567/JJAP.56.04CH06、 国際会議proceedings 、 共著

  • 英語 、 High-performance vertical Si PiN diode by hole remaining mechanism 、 Solid-State Electronics 、 129巻 (頁 22 ~ 28) 、 2017年03月 、 Tsukuda M., Tsukuda M., Baba A., Shiba Y., Omura I.

    DOI:10.1016/j.sse.2016.12.006、 学術雑誌 、 共著

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研究発表(2006.4~)
  • 第9回集積化MEMSシンポジウム 、 その他の会議 (査読有り) 、 2017年10月 ~ 2017年11月 、 広島市 、 スパッタエッチングによる表面平坦化の活性化接合への応用 、 ポスター(一般)

  • 第9回集積化MEMSシンポジウム 、 その他の会議 (査読無し) 、 2017年10月 ~ 2017年11月 、 広島市 、 液中半導体センサーパッシベーション膜の厚膜化による配線腐食低減 、 ポスター(一般)

  • 第78回応用物理学会秋季学術講演会 、 その他の会議 (査読無し) 、 2017年09月 、 福岡市 、 海水中における電気化学反応の抑制のためのパッシベーション膜の検討 、 ポスター(一般)

  • 第78回応用物理学会秋季学術講演会 、 その他の会議 (査読無し) 、 2017年09月 、 福岡市 、 スパッタエッチングにより極薄化したSiO2接合層を持つSOD基板の作製 、 ポスター(一般)

  • 第8回集積化MEMSシンポジウム 、 その他の会議 (査読有り) 、 2016年10月 、 表面活性化接合における接合面積拡大のためのイオン条件の検討 、 ポスター(一般)

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担当授業科目
  • 2017年度 、 物理数学基礎 、 2017年04月 ~ 2017年09月 、 専任

  • 2017年度 、 マイクロシステム特論 、 2017年04月 ~ 2017年06月 、 専任

  • 2016年度 、 物理数学基礎 、 2016年04月 ~ 2016年09月 、 専任

  • 2016年度 、 マイクロシステム特論 、 2016年04月 ~ 2016年06月 、 専任

  • 2015年度 、 物理数学基礎 、 2015年10月 ~ 2016年03月 、 専任

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共同研究実施実績
  • パワーデバイスおよびMEMSセンサーに関する製造プロセスの研究開発ならびに評価 、 2014年04月 ~ 2017年03月 、 国内共同研究

2018/04/16 更新